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超深冷处理工艺采用低温法提纯气体。空气进入深冷空分箱后液化,液化后的空气通过深冷空分塔,在其中经过蒸发、精馏等作用效果,得到高度提纯的气体。气体纯度可高达99.999%,且深冷箱提纯气体还可以得到大量气体。深冷处理工艺应用广泛。基本原则:1