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超深冷处理工艺采用低温法提纯气体。空气进入深冷空分箱后液化，液化后的空气通过深冷空分塔，在其中经过蒸发、精馏等作用效果，得到高度提纯的气体。气体纯度可高达99.999%，且深冷箱提纯气体还可以得到大量气体。深冷处理工艺应用广泛。
1. 液态气体转化为气态，则会吸收热量，制冷。
2. 压力越低，蒸发就越快。
3. 温度降低和压强加大，均可以通过气体蒸发。气体随着温度的降低而液化程度提高；压力高则同样加剧液化效果。
4. 在不同的压力下，同样的物质，同时显示出的温度是不同的。压力越大，饱和温度越高，也就是说压力越高，蒸气就越容易液化；反之同样如此。
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